レーザー学会第469回研究会

「レーザー・ビーム・パルスパワー技術によるBeyond EUV光源」の開催

および講演募集のお知らせ

 

日 時2014125日(金)

場 所:大和川酒造北方風土館

    (966-0861 福島県喜多方市字寺町4761

    TEL 0241-22-2233 FAX 0241-22-2223

交 通喜多方駅より徒歩10

    URL: http://www.yauemon.co.jp/

内 容近年,波長13.5 nmEUV光源の次世代半導体リソグラフィ露光用光源の次世代波長

6.X nm)について議論され始めた.我が国でも,逆コンプトン過程による高平均出力光源

だけでなく,レーザー生成プラズマ光源および放電生成プラズマ光源についても実験的研究が

開始されている.また,原子・分子過程の研究者の注目も集め始めている.

更には,改めて水の窓軟X線光源や顕微鏡についても議論され始めている.

 本研究会では,レーザーや電子ビームを含めた量子ビーム,プラズマだけでなく,X線光学素子,

放射線化学,イメージングなども含めて,包括的に幅広く議論する場を提供する.

共 催宇都宮大学オプティクス教育研究センター、早稲田大学理工学術院・総合研究所理工学研究所、

IEEE Nuclear and Plasma Science Society、電気学会・パルス電磁エネルギー技術委員会

協 賛:電気学会リソグラフィ次世代技術調査専門委員会

参加費:会員:2,000円(研究会報告付き);非会員3,000円(研究会報告付き)

;学生会員・学生非会員:研究報告購入者 1,000円(聴講のみは無料)

研究会報告単品購入12,000円(当日価格、税込)

申込方法:講演(時間:30分程度)を希望される方は,(1)題目,(2)発表者(全員),(3)所属,

4)連絡先(TELFAXE-mail)を明記の上,E-mailにてお申し込み下さい.奮ってご応募下さい.

申込締切日2014103日(金)必着

申込先東口 武史宇都宮大学

    TEL 028-689-6087 FAX 028-689-6009  

        E-mail: higashi@cc.utsunomiya-u.ac.jp